Planar Semiconductor AG
“Wir produzieren und verkaufen das weltweit am weitesten entwickelte System.”

Planar Semiconductor AG

Planar ist in Frankfurt am Main, Deutschland ansässig und betreibt eine hundertprozentige Tochtergesellschaft, Planar in San Jose, Kalifornien – im Herzen des Silicon Valley.

Planar ist eine Investitionsgüter-Unternehmen, das einen revolutionären Ansatz zur Reinigung von Halbleiterwafern entwickelt und vermarktet hat. Unsere proprietären Technologien verwenden vertikales Ausrichten der Wafer und hydraulisch pulsierende Flüssigkeiten auf ihre gesamten Fläche, wodurch die gleichzeitige Reinigung der Wafer vorne, hinten und abgeschrägte Kante ermöglicht wird.

Unsere Pulsar ™-Familie von Single-Wafer-Reinigungssysteme verbessert Fertigungsrenditen unserer Kunden und bietet ihnen enorme Flexibilität in der Kombination von DI-Wasser und verdünnten Chemikalien für hohe Produktivität Streifen und kritische Reinigungsanwendungen – alles ohne Beschädigung der empfindlichen Schaltungsstrukturen auf dem Wafer.

Ein wesentlicher Vorteil der nahen Zukunft der vertikalen Ausrichtung ist, dass die Architektur der Pulsar ™-System kann leicht skaliert werden, um die Reinigung von 450mm Wafern ohne signifikante Erhöhung der System Fußabdruck oder Prozesskosten zu ermöglichen. Planar ist in der Lage, alle einzelnen Wafer Oberflächenvorbereitung und Reinigungsanforderungen unserer Kunden zu treffen.